氦质谱检漏仪：坚固耐用，高精度检漏，使用条件及外部条件需注意

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氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、涂料市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震能力强。可重复使用多年，仍能保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪可靠的质量保证了广泛的市场应用。

氦质谱检漏仪使用条件

氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的场所。特别是氦质谱检漏仪的电源插座应符合要求。地线应良好，通风距离应在30cm左右。

放置氦质谱检漏仪以避免倾斜或翻倒的风险。氦质谱检漏仪底部有一个安装孔，因此可以固定在桌子或支架上。仪器运行前，应确保真空泵内有足够的机械泵油。机械泵油必须使用机械泵型号的专用油。

氦质谱检漏仪外部条件开启操作

氦质谱检漏仪机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真空高空部件连接顺畅；电源线无破损，接地良好。氦质谱检漏仪必须放置平稳，不能倾斜。氦质谱检漏仪底部必须有一层防静电布。

增压罐氦气加压装置：

增压罐氦压装置的外部连接顺序：写明设备的外部条件、操作方法、具体参数等连接顺序。

1、按要求连接加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶。

2、检查增压罐密封圈是否损坏，增压罐进出口阀门是否无法关闭；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处于关闭位置；氦气瓶减压阀是否有泄漏现象。

3、确认所有应注意事项无误后，即可连接电源。

重氟油粗检：

1、检查温度检测电路和加热板电路是否损坏。

2、向油箱中添加适量的重氟油。

3、插上电源线，设定加热处理用重氟油的温度，打开照明灯。当温度达到要求后，即可对产品进行粗检。

氦质谱检漏仪详细操作步骤

1、半检漏（氦喷雾法）

1、插上电源，打开氦质谱检漏仪主开关。等待 2 分钟。当听到一阵风吹过的时候，氦质谱检漏仪已经全面启动。

2、检查氦质谱检漏仪装置，确保检漏参数没有改变，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪的盲孔，选择合适尺寸的检漏托盘和密封橡胶板。使用蘸有酒精的无绒布擦拭下密封孔。将检漏托盘安装在检漏口上。放置密封胶板时，用无绒布蘸酒精擦拭一遍；然后涂一层高真空硅脂；然后将密封橡胶板与检漏托盘中间的小孔对齐，并紧贴在检漏托盘上。

3. 将组件未加盖的表面直接放在泄漏检测孔上方，然后用手指轻轻按压组件的背面。在组件周围涂抹一层浸有酒精的棉签，然后单击检漏按钮检查泄漏率。待泄漏率值稳定后，将装有氮气的喷枪尽可能靠近总成的前后端子，一一喷射空气。这将导致泄漏率值发生相应变化。如果在报废点以内，则说明密封合格。如果有报警声，则说明此时的密封不合格，需要修复。

4、检查完元件后，按下检漏按钮，待待机按钮灯亮时，即可取出元件。

2、全检漏（背压法）

1、由于元件在加压罐和检漏箱内会受到一定的压力冲击，所以应用无尘纸包裹元件，避免元件内部元件损坏和冲击。

2、全检时，必须先将产品放入充有氦气的加压罐中，以0.2Mpa的压力加压4小时。

3、将检漏盒安装在氦质谱检漏仪的检漏孔处，将部件放入检漏盒内，合上盒盖。进行泄漏检测。检漏时不能打开盖子。

4、在氦质谱检漏仪上检漏合格的部件还需用氟油检漏装置进一步进行检漏。主要原因是担心部分元件的泄漏率是否合格。当氦质谱检漏仪抽真空时，如果产品有较大的泄漏孔，产品中泄漏的氦气也会被抽空，从而影响测试结果。因此，使用了氟。粗油检查。氟油粗检时，通过肉眼观察气泡的泄漏情况，最终可以判断元件的泄漏率是否合格。

5、检测氟油泄漏后，戴上耐高温手套，将部件从氟油中取出并冷却。

氦质谱检漏仪操作注意事项

1、产品放入加压罐加压时，不能直接取出加压罐。加压罐内的气体必须排空后才能打开。由于加压罐内的压力大于空气中的压力，为防止造成某些伤害，加压过程中不应让无关人员靠近，并应在加压罐上方张贴警示牌。

2、氦气减压阀与气瓶接口必须锁紧，不得有松动。防止气体冲击造成损坏。

3、产品半检漏时，受压部件不能移动或强行打开。防止气体冲击造成损坏。

4、当检测氟化油严重泄漏时，不能将产品直接放入油箱中。相反，应将油箱中的托盘取出，将产品放在上面并慢慢放入油中。防止油溅伤。

NOI氦质谱检漏仪的日常维护

1、定期检查机械泵油位。若不足，及时添加；如果机械泵的油呈棕色、棕褐色或有糊状气味，则说明油已变质。此时应放出泵内的油，必要时先用新油冲洗，然后再注入新油。

2、定期清洗或更换机械泵排气管。若排气管内有大量油滴，可将其从氦质谱检漏仪中取出，清洗干净，然后用热风吹干或自然晾干。